電漿源原理與應用之介紹

摘要. 電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程,成為現代科技的重要指標。本文將介紹國內在電漿源方面的研發,其中包. 括電感式電漿源,微波表面波電漿源,大氣 ...

電漿與極光

在半導體的設備中,會使用到電漿,比如乾蝕刻. 與PECVD 等設備,電漿是什麼呢?電漿(Plasma)是一. 種由自由電子和帶電離子為主要成分的物質形態,廣泛.

「電漿」原是「電離體」

電漿」的洋名是plasma (源自希臘文πλάσμα)。Plasma. 在生物學指漿狀的「血漿」。但這裡講的plasma 則是物理名詞,. 指的是正電離子、負電子與中性粒子混合而有 ...

電漿- 教育百科

名詞解釋: (1)在數百萬度至數千萬的超過溫下,高度游離化的原子與自由電子集團,其與外界的交互作用非個別而係為一整體性。就整體而言電漿並不帶電,然其正負 ...